TÍNH NĂNG
- Bố trí đèn bề mặt, đường viền và vòng sợi quang cho phép người dùng thiết lập ánh sáng QS để đáp ứng cho các nhu cầu đo lường khác nhau.
- Mạnh mẽ với phần mềm QSPAK dựa trên Windows® cung cấp hàng loạt chức năng đo lường và phân tích.
- Các chức năng bao gồm: tự động lấy nét, phát lại phép đo, tìm cạnh với chỉ một click, hiển thị đồ họa, 48 lệnh macro khác nhau và chức năng so khớp mẫu cho một vài bộ phận chức năng.
- Quan sát bề mặt mô hình của nhiều loại phôi một cách tuyệt vời.
- Độ phân giải 0.1µm và phạm vi trục Z 150mm.
- Thu phóng nguồn giúp thay đổi độ phóng đại nhanh chóng.
- Khả năng bố trí đèn cho phép thay đổi ánh sáng để phù hợp với yêu cầu của phôi.
- Hệ thống nhả nhanh trên bàn soi cho phép chuyển đổi tức thì giữa chuyển động thô và tinh.
- Chức năng điều hướng nhanh cho phép người dùng lặp lại các phép đo một cách nhanh chóng
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
| Mã đặt hàng | QS-L2010ZB | QS-L3017ZB | QS-L2010ZB |
| Phạm vi (trục X / trục Y / trục Z) | 8" x 4" x 6" / 200 x 100 x 150mm | 12" x 6.7" x 6" / 300 x 170 x 150m | 8" x 4" x 6" / 200 x 100 x 150mm |
| Độ phân giải | 0.1µm | ||
| Thang chia độ | Bộ mã hóa tuyến tính | ||
| Độ chính xác đo lường ( ở 20°C và phóng đại 3.0x) | Y: (2.5+20L/1000)µm Z: (5+40L/1000)µm |
||
| bộ phận nhận diện hình ảnh | máy ảnh màu CMOS 1/2" 3 MP | ||
| Bố trí đèn (Halogen) | Đèn đồng trục, đèn vòng sợi quang, đèn bàn soi | ||
| kích thước kính bàn soi | 9.84 x 5.91" (250 x 150 mm) | 14.57 x 9.45" (370 x 240 mm | 17.32 x 9.45" (440 x 240 mm) |
| chiều cao phôi tối đá | 6" / 150mm | ||
| Trọng lượng tải tối đá trên bàn soi | 22 lbs / 10 kg | 44 lbs / 20 kg | 33 lbs / 15 kg |
| Kích thước (W x D x H) | 25" x 30" x 28" / 624 x 769 x 722 mm | 27" x 33" x 36" / 682 x 837 x 916 mm | 30" x 33" x 37" / 757 x 837 x 930 mm |
| Máy chính | 158.7 lbs / 72 kg | 308.6 lbs /140 kg | 321.9 lbs / 146 kg |
Sơ đồ hệ thống
*1 Bộ chuyển đổi B (176-310) là bắt buộc với mẫu máy 2010.
Bộ chuyển đổi (176-304) là bắt buộc với mẫu 3017 và 4020
*2 Có thể cài đặt trên bàn quay với nút điều khiển cấp (A).
Không thể cài đặt trên bàn quay có nút điều khiển cấp (B)
Tỷ lệ phóng đại hệ thống quang học có thể sử dụng cho QS-LZB
| Tổng độ phóng đại Tầm ngắm | 29X 8.8×6.6 |
38X 6.8×5.1 |
49X 5.2×3.9 |
58X 4.4×3.3 |
87X 2.9×2.2 |
116X 2.2×1.6 |
145X 1.7×1.3 |
202X 1.2×0.9 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Khoảng cách vật-vật kính QS-LZB (mm) |  |
|||||||
