Bàn xoay san bằng / căn giữa tự động có độ chính xác cao
Năng suất cao hơn bằng cách đo liên tục:
Có thể đo liên tục như thể hiện trong các bước (1) đến (3) trên hình bên trái mà không cần phải chuyển hướng đầu dò.
1) và 2) : phép đo đường kính ngoài
3) : phép đo đường kính trong
→: Hướng di chuyển
Bề mặt trên / dưới / bên trong / bên ngoài
Độ nhám theo hướng chu vi Độ nhám theo hướng ngang và dọc
Thông số kỹ thuật
Bàn xoay
- Độ xoay chính xác (hướng tâm): {(0.02+3.5H/10000)µm}
- Độ xoay chính xác (quanh trục): {(0.02+3.5X/10000)µm}
- H: Chiều cao lấy mẫu (mm), X: Khoảng cách từ trục bàn xoay (mm)
- Tốc độ quay: 2, 4, 6, 10rpm (20rpm: tự động định tâm)
- Đường kính bàn quay: ø 11.8" (300mm)
- Phạm vi định tâm: ±5mm
- Phạm vi san bằng: ±1°
- Đường kính lấy mẫu tối đa: ø 15.7" (400mm)
- Đường kính phôi tối đa: ø 26.8" (680mm)
- Trọng lượng phôi tối đa:176 lbs (80kg), 143 lbs (65kg): tự động định tâm
Trục máy dọc (Trục Z)
- Hành trình dọc: 13.8" (350mm), (21.7" (550mm): mã AH)
- Độ thẳng (λc2.5): 0.05µm / 100mm, 0.14µm / 350mm (0.2µm / 550mm: mã AH)
- Độ song song với trục quay 0.2µm / 350mm (0.32µm / 550mm: mã AH)
- Tốc độ định vị: Max. 60mm/s
- Tốc độ đo: 0.5, 1, 2, 5mm/s
- Chiều cao lấy mẫu tối đa: 13.8" (350mm) (OD / ID) [21.7" (550mm) (OD / ID): mã AH
- Chiều sâu lấy mẫu tối đa: lớn hơn ø32: 85mm (với đầu đo tiêu chuẩn) lớn hơn ø7: 50mm (với đầu đo tiêu chuẩn)
Trục ngang (Trục X)
- Hành trình ngang: 8.9" (225mm)
- Độ thẳng (λc2.5): 0.4µm / 200mm
Độ vuông với trục xoay: 0.5µm / 200mm - Tốc độ định vị: Max. 50mm/s
- Tốc độ đo: 0.5, 1, 2, 5mm/s
Đầu dò và đầu đo
- Dải đo ±400µm (±5mm: phạm vi theo dõi)
- Lực đo 10mN~50mN (trong 5 bước)
- Đầu đo tiêu chuẩn: 12AAL021,đầu bi cacbua, ø1.6mm
- Hướng đo: Hai hướng
- Điều chỉnh góc đầu đo: ±45° (với vạch chia)
Thiết bị phân tích dữ liệu:
- Phần mềm phân tích: Roundpak
- Loại bộ lọc: 2CRPC-75%, 2CRPC-50%, 2CR-75% (không có giai đoạn sửa chữa), 2CR-50% (không có giai đoạn sửa chữa), Gaussian, bộ lọc OFF
- Giá trị điểm ngắt: 15upr, 50upr, 150upr, 500upr, 1500upr, 15-150upr, 15-500upr, 15-1500upr, 50-500upr, 50- 1500upr, 150-1500upr, Thiết lập bằng tay
- Vòng tròn tham chiếu để đánh giá độ tròn: LSC, MZC, MIC, MCC
- Áp lực khí: 390kPa (4kgf/cm2)
- Mức tiêu thụ khí: 45L/min
Kích thước:
- Kích thước (W x D x H): 49.6 x 28.0 x 66.9" (1260 x 710 x 1700mm) 49.6 x 28.0 x 74.8"(1260 x 710 x 1900mm: mã AH)
- Nguồn cấp100V AC – 240V AC, 50/60Hz
- Khối lượng: Máy chính: 1433lbs. (650kg), 1477lbs. (670kg): mã AH. Bộ tách rung: 375 lbs (170kg)
Giá đỡ thiết bị dò trượt (Tùy chọn) 12AAL090
Khoảng cách trượt: 4,4 "(112mm)
12AAF203
12AAF204
12AAF204
